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Setra西特GCT-225 Setra西特225超高纯压力变送器

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Setra西特225超高纯压力变送器·高纯度气体输送系统
·半导体过程工具
·气柜
Setra GCT-225 系列超高纯压力变送器专门设计用于半
导体工艺过程中的超高纯气体输送系统以及要求超洁净工
作、高吞吐量和超高长期稳定性的控制应用于高纯度气体输送系统·半导体过程工具,气柜
GCT-225 系列采用可旋转的外罩结构,用户可方便地调节
用于零点和量程微调的 12 圈电位计。标准的旋转外螺纹 /

Setra西特225超高纯压力变送器 详细信息

Setra西特225超高纯压力变送器·高纯度气体输送系统
·半导体过程工具
·气柜
Setra西特225超高纯压力变送器·专门设计用于半
导体工艺过程中的超高纯气体输送系统以及要求超洁净工
作、高吞吐量和超高长期稳定性的控制应用于高纯度气体输送系统·半导体过程工具,气柜
GCT-225 系列采用可旋转的外罩结构,用户可方便地调节
用于零点和量程微调的 12 圈电位计。标准的旋转外螺纹 /
内螺纹端面密封压力接口可满足半导体行业的要求。此外,
该系列产品还选用多种其他接口类型。 GCT-225 系列产品
提供 5 VDC 10 VDC 4-20 mA 三种输出类型,可使用
六英尺多芯电缆及卡口、 D-Sub M12x1 接头进行电气
连接。

特性

泄露率低
VCR 接头
易于吹扫的小腔室
200PSI/250PSI/3000PS
·316 L VIM/VAR 不锈钢
·表面抛光度 7 Ra
·VCR
接头
·1×10-9 ATM。CC/sec 级别的氨渗漏实验
·坚固耐用,无故障安装
·4-20mA 输出型获得不易燃认证,适用于潜在危险区域
·符合 CE RoHS 标准要求
应用

GCT-225 系列压力变送器采用 Setra 砖利的可变电容技
术,配有 VIM/ VAR 316L 不锈钢隔膜和绝缘电极板。绝缘
电极板与传感器本地构成可变电容。当气体压力提升时,
隔膜会变得略圆,使电容减小。传感器将检测到电容变化,
并将其转换为高精度的线性直流电信号。 Setra 独特的定
制集成电路采用砖利的电荷平衡原理制成,几乎不受 EMI/
RFI
干扰。
在制造和装配完成后, Setra 超高纯压力变送器还要接受
去离子水冲洗、高纯热氮气吹扫、烘干、双层包装、氮气
充注和密封等处理,蕞后才发货。
Setra 的质量标准是根据 ANSI-Z540 制定的。该产品
的标定具有 NIST 可追踪性,美国砖利号。

 

 


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    1000Torr。 测 量 单 位 可 以 是 Torr, mbar/hpa, kpa 或
    psia。 Model 760 的工作电压是 15VDC,输出 0~10VDC
    或0~5VDC,输出与压力成线性关系,而且与气体成分无关。

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